二手 VEECO Microetch RF 350 #9244343 待售

VEECO Microetch RF 350是一種等離子體蝕刻器/asher，提供高分辨率的等離子體蝕刻和一系列材料的灰化。使用專有的13.56 MHz頻率,此蝕刻器/asher可提供卓越的速度、均勻性和選擇性,用於蝕刻/研磨過程。再者，它具有標準微型卡盤的機械晶片處理設備，適合各種腔室配置，達到優越的性能。該蝕刻器/asher利用射頻等離子體蝕刻和灰化工藝來創建具有精確蝕刻圖樣的高質量曲面。其高功率射頻蝕刻電源提供了極好的再現性，以保證高質量和可重復的結果。此外，其精確的羽流控制有助於減少加工時間，同時提供準確的蝕刻速率。此外，該蝕刻器還配備了自動基板清洗和可變壓力系統，用於進一步的工藝優化和無缺陷蝕刻。在安全性方面，Microetch RF 350具有互鎖裝置，並帶有排氣口和泵保護，以確保蝕刻過程不受等離子體引起的損害。此外，先進的壓力和溫度控制為用戶提供了滿足其期望的安全標準的能力。該蝕刻器還包括一個泄漏探測器，用於提高安全性和識別任何潛在的危險材料，例如含氯氣體泄漏。為了最大限度地方便用戶，VEECO Microetch RF 350包括直觀的用戶界面面板和可編程設置。此蝕刻器/asher還具有高級數據日誌記錄功能,允許用戶輕松存儲和分析蝕刻參數、配方和蝕刻產量。此外,通過遠程服務連接,操作員可以快速輕松地診斷計算機的任何問題。總體而言,Microetch RF 350是一種用於蝕刻或粉刷各種材料的理想蝕刻器/粉碎器。它具有高功率、選擇性、速度和均勻性，能夠以最小的努力產生高質量的蝕刻結果。此外，其先進的安全性和用戶友好的特點使其成為工業和研究應用的完美選擇。