二手 VEECO Microetch #9255813 待售

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ID: 9255813
Ion beam milling machine.
VEECO Microetch是一款高效、可靠的蝕刻和灰化機,設計用於對包括二氧化矽(SiO2)、金屬、玻璃和有機聚合物在內的各種材料進行高精度蝕刻。這臺機器是精密微觀結構和精細圖案蝕刻的理想之選.它采用了最新的微蝕刻技術,深度精度和可重復性優於傳統的濕蝕刻。利用完全優化的光加熱和當前可操作的工藝,Microetch機器可以最大程度地控制任何材料的蝕刻,從而實現更可靠和精確的光刻蝕刻工藝。VEECO Microetch機的設計由一個密封的加工室和兩個吸入氣體的真空泵組成,抽出蝕刻過程的氣態結果。由計算機控制的X-Y級在電極之間移動掩碼,在其中進行蝕刻/灰化過程。該腔室可設置在室溫至低至-60°C的溫度範圍內運行。在加工過程中還可使用離子淋浴以保持清潔和防止晶片表面受到汙染。通過控制材料的沈積,實現了微蝕刻機卓越的深度精度。這是通過使用可調、可編程的射頻功率設置和可調離子淋浴強度來調節的。蝕刻時還使用無漂移電極限制蝕刻區域的深度。精密控制還包括用電流測量的光束監測和控制整個過程速率的運動速度選擇器。該機還具有各種其他可定制的參數,如脈沖持續時間和光束數。VEECO Microetch機是生產先進電子材料超精密蝕刻的可靠工具。它對於處理二氧化矽、金屬、玻璃和有機聚合物等多種材料是非常精確、高效和優化的。該機采用可調參數設計,用戶可以為其應用控制和定制流程。蝕刻結果具有很高的可重復性,使用離子淋浴,蝕刻過程不受汙染。微蝕刻機是創建先進、精密、結構精細、蝕刻完美的表面所必需的工具。
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