二手 XACTIX E1 Mod #9174878 待售
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ID: 9174878
晶圓大小: 6"
優質的: 2004
XeF2 (xenon difluoride) Isotropic silicon etcher
Photo-resist
Silicon dioxide
Silicon nitride
Aluminum
2004 vintage.
XACTIX E1 Mod是一種為實驗室應用而設計的蝕刻器/asher，例如電子、光學和MEMS設備的制造。它是一個不銹鋼平臺，帶有2.5英寸x 2.5英寸石英蝕刻室，在用戶友好、經濟實惠的包裝中提供蝕刻和灰化功能。E1 Mod在經驗豐富的應用程序和新手應用程序中均具有卓越的魯棒性、精確度和耐用性。XACTIX E1 Mod采用頂級材料制造,具有石英蝕刻表面,可抵抗基板損壞或粘附、非導電表面、長期運行的工藝以及加熱性能,最高可達500 °C。它還具有高功率射頻發電機，與傳統的熱蝕刻相比，具有更高的蝕刻產量和更好的蝕刻質量。E1 Mod專為易於使用和可靠性而設計,具有觸摸界面、直觀的命令結構和雙位數壓力/溫度顯示屏。它還具有頂端射頻連接，以提高過程的可重復性和等離子體參數的快速頻率微調。最後,XACTIX E1 Mod配備了一個全外圍設備中心,可連接到外部系統和設備,從而可以無縫集成到現有的實驗室設置中。總而言之,E1 Mod是一個可靠、經濟高效且強大的平臺,非常適合經驗豐富的新手和新手。XACTIX E1 Mod憑借其一流的材料、卓越的精確度和用戶友好的界面,是各種實驗室蝕刻/切割/拋光/清潔工藝的完美解決方案。
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