二手 YES / GLEN R1 #9049956 待售

YES/GLEN R1是一種先進的蝕刻和化學灰化設備，設計用於在半導體制造工藝之前制備晶圓。它是由YES Technology開發的,具有在單個系統中執行幹蝕和化學灰化過程的能力。該單元包含用於幹蝕刻過程的反應性離子蝕刻器（RIE）和用於化學灰化的感應耦合等離子體（ICP）。所有過程都可以在惰性氣體環境中使用各種各樣的氣體進行。機器配備了多種安全功能，如超壓保護和離子束限流，以確保刀具的安全運行。YES R1結合了高級自動化和軟件功能,提供了高度可重復的蝕刻和灰化性能。它具有用於控制、數據采集和過程優化的開放式體系結構計算機接口。該資產還能夠使用電阻加熱元件進行熱灰化,該元件可達到高達9500 °C （17,000 °F）的溫度。GLEN R-1配備了場發射掃描電子顯微鏡，以確保樣品在加工前與基板精確對準。它還包含一個機器人樣品裝載機，以方便樣品處理。該型號配備了眾多的診斷、監控和安全功能，以確保設備運行可靠、安全。該系統還能夠在安全數據庫中存儲和跟蹤配方信息，以確保一致的流程結果。R 1非常靈活，非常適合各種半導體蝕刻和灰化應用。它結合了先進的自動化特性和先進的安全性和控制性，非常適合先進的半導體生產工藝。