二手 YES / GLEN R1 #9135632 待售

YES/GLEN R1是一種脈沖等離子體灰化設備，用於各種先進的基板蝕刻應用。它基於自誘導等離子體過程的原理，利用電流運動產生的等離子體場在材料和氣體分子之間產生反應。這意味著需要最少的化學反應物，創建一個更安全、更具成本效益的工作站。在設計上，YES R 1由一個不銹鋼真空室、一個感應耦合射頻產生系統、一個氣體入口單元、一個增壓機、一個水冷卻工具和一個基板級組成。可容納八種底物的真空室提供了發生自誘導等離子體過程所必需的環境。射頻生成資產向基板施加高頻交流電流，產生脈沖等離子體場。氣體入口模型包含一個質量流量控制器和一個氣體壓力調節器，有助於控制蝕刻氣體進入腔室的壓力和流量。增壓設備可以實現比大氣壓力中更高的壓力，而水冷卻系統則用於冷凝反應蒸氣，並從腔室和射頻發電機組中提取熱量。基板級可根據應用情況進行加熱和冷卻,可調節以使工件相對於等離子體場處於最佳位置。就其應用而言，GLEN R-1可用於一系列蝕刻和研磨工藝，如照片蝕刻、陽極氧化和幹膜層壓。可用於多種金屬，包括銅、不銹鋼、鋁、鈦等。它還能夠執行從軟退火到拉伸退火的各種退火過程。總之，GLEN R1是一種先進的脈沖等離子體灰燼，它的能力高度通用，在操作上非常有效。它易於使用,維護成本低,是任何蝕刻實驗室的理想資產。