二手 YES / GLEN R1 #9172427 待售

ID: 9172427
Plasma cleaner.
YES/GLEN R1是設計用於電子和半導體行業的蝕刻器或asher。它是一種全自動蝕刻設備,利用反應性離子一次蝕刻多層的有機和無機材料。該系統的核心是使用電離氣體的專有教育噴嘴、沈積單元和基於CCD相機的成像機。教育噴嘴包含一個產生等離子體場的場發射源。該場的核心是反應性氣體,由惰性氣體和氧或氟等反應性氣體組成。噴嘴將等離子體場加速出噴嘴,並產生與底物相互作用的離子射流。這些離子蝕刻到材料中,在分子水平上除去它。工具的第二個組成部分是沈積資產,它可以在基板頂部添加金屬、塑料、陶瓷等材料層。沈積模型使用熱蒸發和化學氣相沈積來添加所需材料的塗層。這些工藝與蝕刻工藝相結合,完成基板的多級加工。最後,成像設備對蝕刻沈積過程提供實時視覺反饋。這是通過CCD攝像機完成的,CCD攝像機從多個角度提供過程圖像,顯示蝕刻層。這種實時監測確保了蝕刻和沈積過程的準確性,並能夠對系統進行更精確的控制。總體而言,YES R1 蝕刻器/asher是電子和半導體行業的高效創新工具。可用於創建精密、精密的多級蝕刻沈積工藝。
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