二手 YES / GLEN R3 #9193375 待售

YES/GLEN R3是一種高精度的asher或蝕刻器，用於納米加工。它在蝕刻過程中提供了良好的參數均勻性，設計用於幹式和濕式蝕刻技術。其多用途的設計使得各種工藝參數能夠準確快速地設置，以進行高精度蝕刻。設備本身由幾個單元組成，包括等離子體控制器、電源、以太系統、升降臺和控制臺。其獨特的以太單元采用低壓、低電流、低溫電離氣體混合物，通過多個噴射器送入加工室內，允許基材均勻蝕刻。等離子體控制器設計用於提供樣品上的最小濺射和電離的精確控制，允許精確調整蝕刻參數。電源允許精確控制電流和電壓，並能夠為過程提供穩定的信號。升降臺用於在蝕刻過程中定位樣品,並且能夠將基板升高或降低到正確的蝕刻位置。通過使用可調表，可以精確蝕刻不同厚度和成分的基板。控制控制臺用於設置和監視蝕刻過程參數。它允許您更改分配給蝕刻樣品的時間、蝕刻過程的選擇性、蝕刻室的溫度以及其他參數。與其他類型的納米加工蝕刻系統相比，YES R3以低溫低壓操作以及控制和監測蝕刻過程的精確度而聞名。此外,它是一種高度可靠和持久的機器,幾乎不需要維護,而且允許使用多種可能的應用方案。