二手 YES / GLEN R3A #293601248 待售
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已售出
ID: 293601248
優質的: 2001
Plasma cleaner
PLC Controller
ADVANCED ENERGY PE-1000 AC Plasma power source, 1 kW at 40 kHz
(2) Electrodes: 14" x 14" (Capable of up to 8 sample trays)
RS 232 Interface
(3) Plasma modes:
Active plasma
RIE Plasma
Downstream electron-free plasma
Gas inputs:
(2) Process gases
Purge gas
Full load current rating: 13 Amps
Power supply: 110 V, 500 W, 60 Hz, Single phase
2001 vintage.
YES/GLEN R3A是一種堅固可靠的蝕刻器/asher設備,旨在支持各種蝕刻/研磨過程。它結合了高級硬件和軟件以提供一致的高質量結果。該系統建立在定制設計和測試的底盤上，底盤由耐酸不銹鋼組成，並配有耐腐蝕連接器。它裝有一個防腐陽極和一個散熱器，用於除熱和不需要的氧化。設計的靈活性允許它同時用於蝕刻和灰化應用。該單元的核心由兩個先進的蝕刻/灰化電子設備組成：一個可調波形發生器和一個可調高壓電源。發電機控制蝕刻/灰化過程的波形，允許精確優化功率輸出和蝕刻/灰化參數。高壓電源緊緊控制著機器的電源輸入，在整個處理序列中提供均勻的功率參數。這確保了可重現的蝕刻/灰分結果和結果的高重現性。高級軟件層進一步支持硬件,該層提供直觀、用戶友好的操作界面。軟件層允許用戶調整和設置工具上的參數，以滿足不同的需求，如蝕刻速率、選擇性、均勻性和可重復性。它還提供了更改的可追蹤性和一系列其他有用的功能。YES R3A結合了高級硬件和軟件,提供了功能強大、可靠的蝕刻器/asher資產。它易於安裝和使用,並且能夠獲得一致的高質量蝕刻/灰化結果。其可調波形發生器和高壓電源確保了整個過程中均勻的功率參數，產生了可重現的蝕刻/灰燼結果，其直觀的用戶界面為一系列不同的需求提供了簡單、有效的控制。
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