二手 YOKOGAWA Rainbow 4420 #9111383 待售

YOKOGAWA Rainbow 4420是一款高效的蝕刻和灰化設備，廣泛應用於微電子學和精密工程過程中。該系統具有執行各種蝕刻和灰化過程的能力，包括等離子體蝕刻、幹蝕刻、濕蝕刻、幹灰化以及氯基蝕刻和灰化。該單元具有廣泛的可編程特性和功能，使用戶能夠準確控制蝕刻和灰化過程。Rainbow 4420配備了脈沖面蝕刻室，使其能夠執行各種蝕刻和灰化工藝。這個腔室利用高頻和低頻振蕩來維持穩定的蝕刻環境，減少腐蝕性氣體副產物的產生。Pulsed Facet蝕刻室還包括一個內置的Strip Tool，旨在方便地從蝕刻區去除金屬和非金屬材料如Ta、Titanium和Silicon。YOKOGAWA Rainbow 4420具有獨特的等離子體蝕刻SUS316SS材料室。這種材料以優異的耐熱和耐化學性能著稱。SUS316SS材料能有效保護工件免受蝕刻過程中產生的任何化學殘留物或雜質的侵害。腔室的內表面是耐腐蝕的，設計用於所有類型的蝕刻和灰化過程。彩虹4420還有一個基板加熱板，可以用來加熱基板之前和之後蝕刻或灰化過程。基板的溫度可以通過恒溫加熱機精確控制。該工具可達到600 °C的溫度,非常適合CVD/ALD、分離過程和氧化物或氮化物蝕刻等任務。此外,YOKOGAWA Rainbow 4420還具有半自動工藝關機功能,可用於在預定時間後停止蝕刻或灰化工藝。此功能有助於確保安全高效的蝕刻操作,同時避免任何有害的副作用。Rainbow 4420還具有高級流程控制資產（APCS）,其中包括一套旨在提供最大性能的軟件組件。此模型包括「端點控制」、「速率控制」、「保持角度控制」和「磁帶切割角度控制」等組件,這些組件使用戶能夠準確地對蝕刻和灰化任務進行編程。YOKOGAWA Rainbow 4420是一種高度可靠和高效的蝕刻和灰化解決方案，適用於各種精密工程和微電子操作。這種設備提供了許多可編程的特性和功能，使用戶能夠準確地控制和監視蝕刻和灰化任務。