二手 YOKOGAWA Rainbow 4720 #293642899 待售

YOKOGAWA Rainbow 4720
ID: 293642899
晶圓大小: 8:"
Dry etcher, 8".
YOKOGAWA Rainbow 4720是專門為Asher-type工藝應用而設計的蝕刻器/asher。這種蝕刻器/灰化器能夠在矽和玻璃等基板上提供均勻的蝕刻和薄層沈積。Rainbow 4720的設計包括一個內置的過程室,以及各種組件,以方便高效的過程控制。這包括一個精密位置鎖,用於蝕刻高達30°傾斜角,一個雙角提升機構,方便調整工藝角度,以及內置溫度傳感器,用於精確的溫度控制。蝕刻沈積過程以熱蒸發為基礎,可根據基材的蝕刻/沈積要求,通過調試熔爐溫度和等離子體輸出進行微調。此過程可應用於大型表面(如晶片)或基板的小區域以創建微觀結構。YOKOGAWA Rainbow 4720還包括一個用戶友好的軟件界面,允許輕松操作和數據管理。Rainbow 4720的腔室配備了低噪聲真空預泵和額外的組件,用於出色的工藝控制。這包括一個噪聲抑制系統,以減少蝕刻過程中發出的噪聲,以及用於控制水/氣體流向腔室和基板的內置水/氣流調節器。蝕刻器/asher還附帶各種可選部件,例如基板加熱單元,以創建不同的工藝配置文件。YOKOGAWA Rainbow 4720旨在實現具有高質量結果的可重現工藝,這使其成為要求精確和可重復性的苛刻蝕刻/沈積應用的絕佳選擇。該蝕刻器/asher的設計重量輕,腳印小,便於操作和維護。憑借先進的技術、內置的安全措施和用戶友好的軟件,Rainbow 4720是一個出色的用於實驗室和生產過程的蝕刻/沈積系統。
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