二手 YOKOGAWA Rainbow 4720 #293643500 待售

YOKOGAWA Rainbow 4720是一款靈活通用的幹式蝕刻器/灰化器,專為高級工藝而設計,在制造下一代半導體器件時實現了更高的吞吐量和產量。這款高性能蝕刻器/灰泥設備的最大蝕刻/灰泥面積為12.7厘米,最大基板尺寸為8英寸。極低的維護成本使蝕刻操作更有效率和成本效益。Rainbow 4720是一款等離子蝕刻器/asher，為Si、GaAs、SiC和SiGe等多種材料提供應用。它還允許高通量的過程，如低溫年鑒和快速混合鍵合。YOKOGAWA Rainbow 4720以其高速二氧化碳（CO2）氣流提供了較高的蝕刻速率，從而能夠在很短的時間內處理各種材料。Rainbow 4720能夠在整個基板上實現高水平的過程均勻性，即使腔室面積有限。它還具有氣流、射頻功率、工作壓力等蝕刻參數的可變控制，以實現高分辨率蝕刻操作。而且，YOKOGAWA Rainbow 4720具有可追溯的蝕刻記錄和可重復的工藝結果，允許高度的工藝控制和重現性。Rainbow 4720擁有先進的高級數據庫管理系統，用於流程控制和跟蹤。這樣就可以有效地並行處理和快速監控過程中的數據。可以從單個用戶界面查看所有數據,並且可以在安全的環境中輕松與其他用戶共享數據。蝕刻器/灰化器還具有許多安全功能,可防止發生任何事故,例如在氣體泄漏、氣流和壓力錯誤時自動關閉。此外，YOKOGAWA Rainbow 4720的內部單元可以在流程參數達到臨界水平時發送警報。Rainbow 4720是一款先進可靠的蝕刻機/asher機,易於升級以滿足更新的工藝要求。它專為滿足最先進工藝的需要而設計，以便於制造高性能半導體器件。它具有很高的工藝均勻性和靈活性，是半導體工業應用的理想解決方案。