二手 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY Peva-600E #9059480 待售
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ID: 9059480
晶圓大小: 2 to 6
優質的: 2011
Metal evaporator, 2"-6"
Includes:
(1) Multi-Layers Lift-Off process requirements (Ti, Al, Ni, Au, Cr, AuGe, etc.)
(2) Run to Run film uniformity control under % to ensure overall product yield
(3) Optimum evaporator chamber and pumping system design, effectively reduce cycle time and increase material usage (> 20%)
(4) Special design fixture dedicated to thin slice (<100mm) manufacturing process with optimum reliability
(5) Full automatic, intelligent PC control system
Specifications:
Wafer Numbers / Sizes: (108 -15) pcs
E-Beam Power: From 6 ~10 kW (Option)
Ultimate Pressure: < 1E-7 Torr
Based Pressure: 2E-6 Torr within 30 mins
Pumping System: Cryopump + Rotary Vane Pump or Dry pump (Option)
Automatic Control System: Industrial HMI with Graphic User Interface or Fully PC Interface Operation (Option)
Thickness/Rate and Process Control: RS-232 interfaced Real Time Controller including Sweeper, Indexer, Material, Tooling Factor, Soak, Ramp and Shutter
Substrate Temperature Control: RT ~ 350 ℃
Non-Uniformity: 5% for WIW, WTW and RTR
Power Requirement: AC220V, 3 phase, 60 Hz, 80A,
Dry N2 Requirement: 1.2 kgw/cm2
CDA Requirement: 5 kgw/cm2
Water Requirement: 1.5 kgw/cm2, 20℃, 30 l/min
2011 vintage.
AST/ADVANCED Equipment TECHNOLOGY Peva-600E蒸發器是一種高效可靠的蒸發器,旨在在各種商業和工業應用中提供卓越的熱性能。該蒸發器的設計和制造符合安全、耐用性和效率的最高標準。AST Peva-600E蒸發器配備了密封閉環系統，允許水循環，而不會帶來明顯的蒸發損失。蒸發器采用先進的微型計算機控制（MC-C）技術，有助於監測和調節蒸發器的運行和溫度。這樣可以提高設備的性能,並確保其安全可靠。此外，該裝置還設計有自動補水機，有助於防止蒸發器出現任何不必要的超載。ADVANCED TOOL TECHNOLOGY Peva-600E蒸發器能夠在各種能源上運行,包括氣體、電力和蒸汽。這可以讓使用者選擇最具成本效益和效率的方式來操作蒸發器。在能源效率方面，Peva-600E蒸發器的額定能效比為14.3。這使得它非常適合具有中等至重型需求的應用程序,並有助於最大限度地節省能源。與其他類似容量的蒸發器相比，蒸發器的傳熱速率提高了。此外，它還能夠產生低壓降、精確的溫度控制和更好的冷卻效果。AST/ADVANCED ASSET TECHNOLOGY Peva-600E蒸發器采用高級熱力學鋁基外殼設計,有助於確保耐用性和使用壽命。這使它能夠承受惡劣的操作環境,並有助於確保設備的安全。此外，這種耐腐蝕外殼使其能夠提供可靠的性能，並在較長時間內保持最佳溫度水平。AST Peva-600E Evaporator還設計了一個內置的自我診斷模型，幫助監測其性能並檢測蒸發器可能出現的問題。該設備將自動提醒用戶蒸發器出現任何故障或其他問題,從而使用戶能夠采取糾正措施並保持系統平穩運行。此外，該裝置還配備了緊急關機，必要時可啟動。總體而言，ADVANCED TOOL TECHNOLOGY Peva-600E Evaporator是任何尋找高效蒸發器的商業或工業環境的理想選擇。其先進的技術、高效的操作和內置的安全特性使其成為值得信賴和可靠的選擇。此外，它的緊湊設計和耐腐蝕外殼使得它非常適合任何空間可能有限的環境。
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