二手 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY Peva-600EI #9238802 待售
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ID: 9238802
晶圓大小: 4"-8"
優質的: 2004
E-Beam evaporator, 4"-8"
Deposition materials: Al, Au, Ni, Ti, Pt, Ge, ITO, Cr and Ag
Deposition controller: MAXTEK MDC-360C
Thickness accuracy: 0.5% + 1 Count
E-Gun: Diameter 600 mm x height 800 mm
TELEMARK TT-6 Control power supply
System frame with clad panels
Mounting frames with height adjustable transport rollers
Rack cabinet, 19"
Cooling water distributor with valves
Deposition chamber:
Single walled made of 304 L stainless steel electro-polished
Welded on semi rectangular pipes for cooling and heating
Front opening / Closing door with automatic electromagnetic lock / unlock
Deposition chamber pumping system and vacuum measurement:
CTI-CRYOGENICS Torr-10 Pump (9,000 L/sec for H2O)
CTI-CRYOGENICS 9600 Liquid helium water cooled compressor
Auto regeneration function for cryo pump
(2) Stages rotary vane pump with KF 40 inlet flange
Compressed air distribution
GP 307 Vacuum gauge controller
GP 274 Ion gauge head
(2) GP 275 Pirani heads with tungsten filament
Process controller / Layer thickness measurement:
Process control with RS-232 interface
QUARTZ Sensor with 6 MHz oscillator
With cooling water lines and signal cables
E-Beam evaporator, 6 kW type 265
With wafer substrate holder, 4" x 4", 6" x 2", 8" x 2"
(4) Pockets of 25 cc
MDC-360C Power supply
TT6
Power supply: AC 220 V, 60 Hz, 70 A, 3 Phase, 4 Watts
2004 vintage.
AST/ADVANCED Equipment TECHNOLOGY Peva-600EI Evaporator是一種工業級蒸發器，旨在去除食品加工和其他工業應用中的物質中的水。蒸發器利用先進技術，保證了高效可靠的性能。蒸發器采用與蒸發器主體分離的冷凝器創新設計。這樣可以確保用於冷卻物質的制冷劑不會泄漏或接觸蒸發器中的敏感物質。蒸發器還采用高科技材料，保證在運行過程中承受交換器內部的壓力。AST Peva-600EI利用先進技術實現效率最大化和能耗最小化。蒸發器具有節能功能,可在蒸發器處於待機模式時降低功耗。蒸發器還具有精密的溫度和壓力傳感器，可連續測量蒸發器內的溫度和壓力，並相應調整冷凝速率。ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY Peva-600EI還具有高達80千克/小時的蒸發能力，可從蒸發器中處理的物質中快速有效地清除大量水分子。該蒸發器還具有可移動的蒸發器殼體，便於根據需要維修或維修蒸發器。Peva-600EI蒸發器采用耐用材料制造,保證了多年的可靠運行.蒸發器還有一個內置的安全單元，帶有可聽和視覺警報，可以提醒操作員註意任何潛在問題。該蒸發器還包括蒸發器機身的有限兩年保修和配件的一年保修。AST/ADVANCED MACHINE TECHNOLOGY Peva-600EI Evaporator是尋找可靠、節能的食品加工及其他工業應用蒸發器的理想選擇。先進的功能、易於使用的控制和客戶服務支持使這種蒸發器成為那些需要可靠和高效的蒸發器來處理各種應用程序的人的絕佳選擇。
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