二手 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY Peva-600I #9059482 待售
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ID: 9059482
優質的: 2012
ITO Evaporator
(1) Multi-Layers Lift-Off process requirements (Ti, Al, Ni, Au, Cr, AuGe, etc.)
(2) Run to Run film uniformity control under % to ensure overall product yield
(3) Optimum evaporator chamber and pumping system design, effectively reduce cycle time and increase material usage (> 20%)
(4) Special design fixture dedicated to thin slice (<100mm)
(5) Full automatic, intelligent PC control system
Specifications:
Wafer Numbers / Sizes: (108 -15) pcs / (2"- 6")for Planetary Domes
E-Beam Power: From 6 ~10 kW (Option)
Ultimate Pressure: < 1E-7 Torr
Based Pressure: 2E-6 Torr within 30 mins
Pumping System: Cryopump + Rotary Vane Pump or Dry pump (Option)
Automatic Control System: Industrial HMI with Graphic User Interface or Fully PC Interface Operation (Option)
Thickness/Rate and Process Control: RS-232 interfaced Real Time Controller including Sweeper, Indexer, Material, Tooling Factor, Soak, Ramp and Shutter
Substrate Temperature Control: RT ~ 350 ℃
Non-Uniformity: 5% for WIW, WTW and RTR
Power Requirement: AC220V, 3 phase, 60 Hz, 80A,
Dry N2 Requirement: 1.2 kgw/cm2
CDA Requirement: 5 kgw/cm2
Water Requirement: 1.5 kgw/cm2, 20 ℃, 30 l/min
2012 vintage.
AST/ADVANCED Equipment TECHNOLOGY Peva-600I Evaporator是為高效空調和制冷系統設計的AST。它是一個獨立的空氣冷卻裝置，使用緊湊的ampac（氨蒸氣壓縮機）來冷卻空氣，同時降低空間的空氣濕度。該單元可提供最佳能量輸出的高效冷卻。這種蒸發器非常適合溫度在-20至35攝氏度之間的工業應用。AST Peva-600I Evaporator是一種可靠、智能的技術，采用堅固的技術聚合物墻和堅固的框架構成，以確保它能夠在困難的環境中運行。它被設計成能夠有效地從空氣中傳遞熱量，從而實現高效的冷卻能力。該單元使用集成的冷凝液平底鍋系統捕獲和清除多余的冷凝液堆積，同時防止微生物和腐蝕損害。風扇速度可調，確保保持舒適、一致的氣溫，實現高流量。ADVANCED UNIT TECHNOLOGY PEVA 600I Evaporator帶有內置LED顯示屏,可輕松精確地進行診斷和溫度控制。用戶可以輕松調整溫度設置以匹配所需的冷卻效果,同時選擇診斷代碼可以進行簡單方便的故障排除。分流塊特性允許提高流量和使用多個蒸發器在一臺機器中獨立運行。此功能允許各種蒸發器串聯堆放以提高冷卻能力,從而增加了可用的浪湧體積。AST PEVA 600I蒸發器的設計考慮了安全性.它利用傳感器檢測工具故障,並向用戶發出任何潛在問題的警報,如高壓或低壓、氣流減少或溫度不平衡。它還包括集成的自我診斷和警報,用於檢測操作違規並向用戶發出任何故障警報。ADVANCED ASSET TECHNOLOGY Peva-600I Evaporator是一種可靠、高效、強大的空調和制冷模型。它是工業應用的理想解決方案,需要安全、堅固、可靠的空氣冷卻設備,並且能以最小的耗電量運行。該單元提供高效率、耐用性和安全性,以及易於安裝和維護。
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