二手 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY Peva-600I #9073292 待售
網址複製成功！
ID: 9073292
優質的: 2009
ITO Evaporator
Multi-Layers Lift-Off process requirements (Ti, Al, Ni, Au, Cr, AuGe)
Run to Run film uniformity control under % to ensure overall product yield
Material usage: > 20%
Special design fixture dedicated to thin slice (<100mm)
Full automatic, intelligent PC control system
Specifications:
Wafer Numbers / Sizes: (108 -15) pcs / (2"- 6") for Planetary Domes
E-Beam Power: From 6 ~10 kW (Option)
Ultimate Pressure: < 1E-7 Torr
Based Pressure: 2E-6 Torr within 30 mins
Pumping System: Cryopump + Rotary Vane Pump or Dry pump (Option)
Automatic Control System: Industrial HMI with Graphic User Interface or Fully PC Interface Operation (Option)
Thickness/Rate and Process Control: RS-232 interfaced Real Time Controller including Sweeper, Indexer, Material, Tooling Factor, Soak, Ramp and Shutter
Substrate Temperature Control: RT ~ 350 ℃
Non-Uniformity: 5% for WIW, WTW and RTR
Power Requirement: AC220V, 3 phase, 60 Hz, 80A,
Dry N2 Requirement: 1.2 kgw/cm2
CDA Requirement: 5 kgw/cm2
Water Requirement: 1.5 kgw/cm2, 20 ℃, 30 l/min
2009 vintage.
AST/ADVANCED SYSTEMS TECHNOLOGY AST/ADVANCED EQUIPMENT TECHNOLOGY Peva-600I是專為嚴重工業應用而設計的它具有創新的設計,可提供快速、高效的操作、卓越的性能和較長的使用壽命。蒸發器的優化設計基於專利的內鰭系統、重型冷凝器和堅固的外殼。內鰭單元是AST Peva-600I蒸發器的關鍵特性，使其能夠快速傳遞超過市場上其他蒸發器的性能。利用絕緣蒸汽管道和高效冷卻板等創新工程技術，蒸發器能夠最大限度地實現冷凝，最大限度地減少能耗。此外，內鰭機提供了更大的表面積和最小化的空氣阻力，導致高冷卻速率至750 °F和高傳熱效率。鰭片工具配備了重型結構，在堅固耐用的操作條件下具有最大耐用性。ADVANCED ASSET TECHNOLOGY PEVA 600I還配備了強大的冷凝器,使其能夠在更高的溫度下運行。冷凝器采用耐腐蝕不銹鋼和連續鰭片結構設計，以確保持久的操作和卓越的效率。堅固耐用的結構確保了冷凝器能夠處理高溫和延長的生命周期性能。ADVANCED MODEL TECHNOLOGY Peva-600I蒸發器的外殼由高度耐用和有彈性的材料構成，在極端條件下提供卓越的保護。外殼設計用於防止灰塵、水分和蒸氣影響蒸發器的性能,並有助於在較長的使用壽命內保持最佳性能。為保證峰值效率和安全,先進設備技術/先進系統技術AST/先進系統技術PEVA 600I蒸發器符合嚴格的行業標準。它預先配備了最先進的安全功能和控制,例如安全開關、溫度安全閥和減壓閥,以最大程度地減少過冷和/或過熱的機會。此外,蒸發器還配備了一系列控制和監控系統,使用戶可以輕松監控溫度、壓力和其他操作條件。AST/ADVANCED UNIT TECHNOLOGY/ADVANCED SYSTEMS TECHNOLOGY Peva-600I EVAPORATOR是一種先進創新的蒸發器,在嚴重的工業應用中提供高效可靠的性能其優化的設計和嚴格遵守安全標準，使其成為市場上首屈一指的蒸發器之一。憑借其高效的運行、卓越的性能和較長的使用壽命,PEVA 600I將使用戶能夠充分利用其冷卻系統。
還沒有評論