二手 BALZERS BA 501 #293688210 待售
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ID: 293688210
Rotary pump
Protection degree: IP55
Final pressure with gas ballast: 1 hPa, 0.75 Torr, 1 mbar
Final pressure: 5 x 10^-2 hPam, 3.75 x 10^-2 Tor, 5 x 10^-2 mbar
Connection flange (in): DN 100 ISO-F
Connection flange (out): DN 100 ISO-K
Input voltage(s): 460 V AC (±5 %), 60 Hz
Rated power 60 Hz: 18 kW
Motor type: 3-Phase motor
Motor protection: PTC
No mains cable
Cooling water pressure: 2,000-10,000 hPa, 1,500-7,500 Torr, 2,000-10,000 mbar
Cooling method: Water
Cooling water flow: 90 l/h
Ambient temperature: 12-40 °C, 53.6-104 °F, 285-313 K
Cooling water temperature: 10-30 °C, 50-86 °F, 283-303 K
Exhaust pressure:
Min: Atmospheric pressure
Max: 1,500 hPa, 1,125 Torr, 1,500 mbar
Nominal rotation speed at 60 Hz: 1,800 rpm, 1,800 min-1
Nominal rotation speed pump, 60 Hz: 345 min¹
Gas ballast
P3 Operating fluid: 45 L
Without safety valve HV
Power supply: 3-Phase motor, 460 V, 60 Hz.
BALZERS BA 501是由歐瑞康集團旗下子公司著名真空技術制造商BALZERS開發的高性能蒸發器。這種蒸發器設計用於材料科學、研究和工業過程中的廣泛應用,需要在真空環境中進行精確的薄膜沈積。BA 501配備了先進的特性和功能,使其成為一種用途廣泛、可靠的薄膜沈積工具。蒸發器能夠以高精度和均勻性將金屬、氧化物和氮化物等多種材料沈積到基板上。這使得它成為為半導體器件、光學塗層和其他需要精確控制薄膜厚度和組成的應用創建薄膜的理想解決方案。BALZERS BA 501的主要特點之一是真空性能高,這對於實現高質量的薄膜沈積至關重要。設備配有高容量抽水系統,可創造和維持沈積過程所需的超高真空條件。這保證了沈積的薄膜沒有汙染物和缺陷,從而產生優越的薄膜質量和性能。蒸發器還配備了精密的加熱裝置,可以精確控制蒸發源的溫度。這使用戶能夠在最佳溫度下沈積材料,以實現所需的膜特性,如附著力、密度和結晶度。該機還具有一個旋轉基板支架,可確保整個基板表面均勻沈積,進一步提高沈積膜的質量和一致性。除了高級功能外,BA 501還采用了用戶友好的功能,使其易於操作和維護。該工具配有一個用戶友好界面,可直觀控制沈積過程,包括設置沈積參數、監控過程性能以及排除操作過程中可能出現的任何問題。資產還具有內置安全機制,以保護用戶和設備免受潛在危害。BALZERS BA 501是一個完全自動化的模型,可以編程為在用戶幹預最少的情況下執行復雜的沈積過程。這使得它成為大批量生產環境中一個經濟高效的解決方案,在大批量生產環境中,一致和可靠的薄膜沈積是必不可少的。此外,設備的設計模塊化,便於定制和擴展,以滿足不同應用程序和行業的特定要求。總體而言,BA 501是一款最先進的蒸發器,它結合了先進的技術、高性能和用戶友好的功能,為薄膜沈積提供了一個通用且可靠的解決方案。無論是用於研究實驗室、學術機構,還是工業生產設施,BALZERS BA 501都為薄膜沈積技術的精度和質量設定了標準。
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