二手 DENTON VACUUM Explorer 14 #293774927 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 293774927
Sputtering system
Deposition chamber:
Chamber and control cabinet
304L Stainless steel chamber (14" wide x 18" tall)
Substrate size capability: 100 mm Ø
Magnetron capability: Up to 3" target diameter
Internal chamber deposition shield
Deposition chamber pumping:
Turbo pump and controller range: 620 l/s
EDWARDS XDS10 Dry scroll pump
High vacuum
3-Position gate valve
Vacuum gauging and process gas control:
Pirani/Bayard-Alpert gauge transmitter/Bayard-Alpert gauge transmitter
Ceramic capacitance manometer: 1 TORR FS
(2) Mass flow controller (Ar and N2)
MKS Controller
Sputter sources:
(3) 2.0" Diameter, internal "stalk-mounts"
(3) Flex type, planar magnetron sputter sources
Direct cooled for Ti
(3) Independent electro-pneumatic cathode shutters
Control and automation:
Color touch panel control and graphical status display
Multimode capabilities: Auto pump, auto vent, manual, automatic
Substrate stage: RF Bias
DVI RF Bias, 100 mm substrate stage assembly
RPM: 0-20
Sputter power supplies:
DC Power supply: 1 kW
RF Power supply: 300 Watt
DC Switch A/B select.
DENTON VACUUM Explorer 14是一種先進的薄膜沈積設備，俗稱蒸發器。這種尖端儀器設計用於在高真空環境下通過物理氣相沈積（PVD）的過程制造各種材料的薄膜。Explorer 14由DENTON VACUUM制造，DENTON VACUUM是以創新技術和卓越性能著稱的薄膜沈積設備的領先供應商。DENTON VACUUM Explorer 14配備了廣泛的特性和功能，使其非常適合微電子學、光學、材料科學等領域的研究和工業應用。該系統設計用於薄膜沈積的精確控制和均勻性，使研究人員和工程師能夠實現附著力優良、厚度均勻的高質量薄膜。Explorer 14的關鍵特征之一是它的多用途沈積源，包括電阻性熱蒸發源、電子束蒸發源和濺射源。這些來源使用戶能夠沈積各種材料，包括金屬、氧化物和氮化物，對沈積速率和薄膜特性有特殊的控制。該單元還兼容多種基材尺寸和形狀，使其適合廣泛的樣品類型和應用。DENTON VACUUM Explorer 14配備了先進的真空泵送和壓力控制系統，以創造和維持薄膜沈積所需的高真空條件。該機包括高速渦輪分子泵和幹式渦旋泵，共同實現並保持超高真空範圍內的基本壓力。一種先進的氣流控制工具促進了精確的壓力控制，該工具允許用戶在沈積過程中調整氣體流量和組成。Explorer 14具有用戶友好的界面和軟件控制資產,可輕松操作和監視沈積過程。該模型可以編程為自動執行復雜的沈積序列，允許用戶為特定的薄膜結構和屬性創建定制的沈積配方。通過設備的直觀軟件界面，對沈積速率、薄膜厚度、底物溫度等沈積參數進行實時監控。DENTON VACUUM Explorer 14除了具有先進的薄膜沈積能力外，還設計了易於維護和可維護性。該系統包括符合人體工程學的設計功能，例如易於使用沈積源和真空組件，以及簡化組件更換和升級的模塊化結構。DENTON VACUUM提供全面的技術支持和培訓，幫助用戶最大化Explorer 14的性能和正常運行時間。總體而言,DENTON VACUUM Explorer 14是一個最先進的薄膜沈積單元,為廣泛的研究和工業應用提供卓越的性能、多功能性和易用性。憑借其先進的特性和功能,Explorer 14是研究人員和工程師的寶貴工具,他們希望創建具有精確控制和可重復性的高質量薄膜。
還沒有評論