二手 LEYBOLD HERAEUS L 560 #9094443 待售
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單擊可縮放
已售出
ID: 9094443
晶圓大小: 4"-6"
E-Beam Evaporator, 4"-6"
Unit can deposit (8) each 4" substrates simultaneously
Or (5) each 6" substrates
Vacuum chamber nonmagnetic stainless steel
Inner diameter: ~ 550 mm
Chamber with frame: 1,810 x 830 x 1,200 mm
Control cabinet: 1,810 x 570 x 810 mm
High-vacuum pumping system
Turbo-molecular pump: TURBOVAC 1000
Pumping speed for N2: 1,000 liter/s
Rotary vane pump: TRIVAC D65B
Pumping speed: 65m³/h
LN2 cooling trap
Consumption: ~ 1 liter/h
Viewing baffle: Automatic pumping-system control
Vacuum gauges
Fore-vacuum meter: TM220S 10-³ to 10³ mbar
High-vacuum meter: IM 210 10-9 to 10-³ mbar
E-beam source:
E-beam gun: ESV 6-270, 4 kW
E-beam evaporation source with 4 pockets
Diameter of 1 pocket: ~ 20 mm
Glow Discharge Unit for pre-cleaning
(1) Holder for quartz microbalance crystal
Inficon deposition controller XTC/2 connected to crystal unit
(2) Thermal Evaporators with shutters
(3) Gas-flow meter with MKS MFCs
Chamber:
Carousel diameter: 450 mm
Chamber size: 560 W x550 D x 580 H mm
Vacuum Pumps:
TRIVAC D65, RUVAC WS251 and Leybold Turbopump Turbovac 1000 with 1000/1500 Turbotronic
Cooling system:
Water cooling of e-beam source
Cooling water lines placed around the chamber
Heating system:
No water heating of the chamber
Includes equipment for wafer and chamber heating
Substrate Holder:
Holder can be chosen to rotate during the whole process.
LEYBOLD HERAEUS L 560蒸發器是一種高效、自動控制的蒸發器，設計用於有機材料和水溶液的熱蒸發。L 560使用蒸發室，提供一種獨特的沈積技術，允許對揮發性和半聚體化合物進行精細控制和有效的熱分解。蒸發器采用低成本、高效的蒸發器設計，最大限度地降低了產品汙染的風險。LEYBOLD HERAEUS L 560具有自動溫度和壓力設置以及簡單、直觀的操作，允許用戶為每個實驗快速設置蒸發器。由於蒸發器是為特定材料預先定義的，用戶可以輕松地復制蒸發過程，並迅速將其設置與他們的研究或應用需求相匹配。一款簡單易用的設備讓用戶可以從儀器的顯示屏上即時快速調整設置。L 560具有固定玻璃蒸發器柱和可調加熱板，以調節加熱和產品通量。蒸發器的高功率、低壓加熱板確保了各種材料的蒸發，同時保護系統免受電流過載。可調的加熱板允許用戶精確控制烤箱溫度，允許重復蒸發過程。LEYBOLD HERAEUS L 560還提供了符合人體工程學和高度可靠的通風裝置，允許從蒸發室中提取熱量和煙霧，並將它們有效地轉移到兩個容易接近的管道之一。可調氣流調節器為用戶提供對蒸發速率的高度控制，確保均勻幹燥和幹燥溫度。此外，柔性管道的柔性機器確保蒸發器內的安靜操作和空氣循環。L 560配備了先進的過濾工具，通過兩個過濾器過濾大氣，在塵埃和微粒到達蒸發器腔室之前進行收集。這種先進的過濾設備確保了可燃材料的安全，並確保了安全運行。LEYBOLD HERAEUS L 560有各種各樣的配件,包括樣品支架、樣品托盤、蒸發器瓶等,確保用戶擁有成功且可重復的蒸發過程所需的一切。無論采用哪種方法,L560都能提供高度可靠的有機物和水溶液熱蒸發.
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