二手 OERLIKON / LEYBOLD 450B #9254671 待售

OERLIKON/LEYBOLD 450B是一種蒸發器，用於生產用於半導體和光學塗層等應用的高溫精密薄膜。它利用低壓蒸發過程，允許有機、無機和聚合物薄膜的沈積，厚度從單分子到幾微米不等。蒸發器中的加熱器組件采用了四個可以單獨調節的加熱區，允許多用途、精確的溫度控制和逐漸的溫度變化。每個加熱區都包含高精度、快速反應的陶瓷加熱器。該電源的設計目的是為快速加熱和冷卻周期提供精確穩定的電源。蒸發器采用水冷室，提高了效率，改進了工藝控制。起始材料可以是顆粒、顆粒或固態源的形式。然後將材料裝入高真空室。水冷的樣品船有助於將材料保持在汽化點以下的溫度。然後將樣品物料通過在crucible蒸發器和側面排氣口之間施加壓差進行蒸發。材料隨後通過前體進入工藝室，並與反應性氣體混合。然後將材料沈積到基板上，形成薄膜。LEYBOLD 450B的控制系統設計方便、精確地控制沈積過程。它具有直觀的圖形用戶界面，具有先進的選擇和監測沈積時間、薄膜厚度、空間均勻性以及總壓力監測等操作參數的能力。此外,還有一些可自定義的用戶定義自動配方,可以存儲和召回這些配方以備將來運行。OERLIKON 450B蒸發器是生產工藝性能提高、工藝可靠性提高、用戶控制靈活的優質薄膜的理想解決方案。它是薄膜沈積應用的理想選擇，對各種材料都能產生優異的效果。