二手 ULVAC CRTM-8000 #9105412 待售

ULVAC CRTM-8000是一種用於薄膜材料沈積的蒸發器。該蒸發器配備了先進的低溫汽相傳輸（VAPT）設備。該系統使用ULVAC專利的精確電子束源（PEBS）。這使用了帶有專門設計的磁透鏡的精確電子束來控制沈積過程。CRTM-8000蒸發器具有一定的精確度和均勻性，通常與氣相沈積有關，遠遠優於標準的熱蒸發。ULVAC CRTM-8000的溫度範圍為0-800℃,腔室大小為120 mm,真空額定值為10-7 Torr。它具有氣體擴散源機制，能夠高效地實現多種氣體的氣相傳輸。這個單元使用先進的反饋控制算法來控制蒸氣傳輸和沈積過程。CRTM-8000具有高度的熱均勻性，可用於LPCVD（低壓化學氣相沈積）、PECVD（等離子體增強化學氣相沈積）、濺射沈積（PVD）等多種沈積模式。ULVAC CRTM-8000具有快速的熱響應時間,可確保材料的快速蒸發和沈積.它還具有先進的熱控機，能夠準確監測和維持沈積室內的穩定溫度。該工具采用先進的溫度感測、加熱、冷卻和阻尼技術來優化和維持薄膜材料的精確沈積溫度。CRTM-8000可以配置用於單晶片或批處理應用程序,並且由於其高性能組件和高級資產設計而具有較低的運營成本。該型號還采用了高劑量和低劑量均可操作的6電正電子發射設備，可用於非晶矽、多晶矽等耐火材料的薄膜沈積，可用於金屬、陶瓷、玻璃等基材。ULVAC CRTM-8000是一種高效且經濟實惠的蒸發器,專為各種應用而設計。其先進的特點使其能夠實現高沈積精度和均勻性以及精確的溫度控制，使其成為各種薄膜沈積工藝的理想解決方案。