二手 ULVAC EBX-1000 #9313807 待售

ULVAC EBX-1000是為高精度薄膜沈積而設計的高質量蒸發器。它采用渦輪分子泵，保持10-6至10-7的壓力固定，以保證沈積的均勻性。物理的蒸氣傳輸是通過一個熔爐源、一個電子束源或一個多源組合來實現的。專用真空室設計在與傳輸系統兼容的緊湊集成平臺中。ULVAC EBX1000蒸發器由蒸發室、渦輪分子泵和沈積監測儀器組成。蒸發室由不銹鋼制成，並配有網關法蘭，方便材料從坩堝、電子束源或多源轉移。室內硬化，具有不同層次的微化學保護。此外，EBX 1000的渦輪分子泵為蒸發過程中的壓力提供了高精度的控制。內置的真正的旋轉節氣門調節精確的泵降時間。此外，利用低真空增壓泵和機械泵有效地排出大負荷殘余氣體。沈積監測儀器可在精確條件下精確控制氣相沈積速率。可實時監測沈積膜厚度。它旨在監測各種金屬、絕緣體和有機化合物。該儀器還具有控制目標厚度、沈積速度和沈積過/下的不同參數集。此外，還可以監測不同的熱參數，確保高效和快速地輸送材料沈積。總之，EBX1000蒸發器是一種高精度、高質量的裝置，其設計使得高精度薄膜沈積成為可能。它具有緊湊的集成平臺，用不銹鋼腔室硬化，可用於監測各種材料，以實現高效的氣相沈積。ULVAC EBX 1000以其內置的真正的旋轉節氣門、低真空增壓泵和沈積監測儀器，提供高效、精確的氣相沈積。