二手 ULVAC EBX-10C #293649865 待售

製造商
ULVAC
模型
EBX-10C
ID: 293649865
優質的: 1982
Vapor deposition system Chamber: 650×800 mm (3) Resistance heating (Front door type) Vacuum gauge Film thickness gauge with revolving jig Required cooling water: 2kg/cm²G (10ℓ/min) Required air pressure: 5kg/cm²G Substrate holder size: 430 mm Effective deposition range: 350 mm 1982 vintage.
ULVAC EBX-10C是一種高性能蒸發器,旨在為薄膜沈積和表面處理等應用提供經濟高效的蒸發工藝。蒸發器非常適合先進的研究、開發和生產過程。該蒸發器采用ULVAC X系列鍍鉑金電極和獲得專利的EBX (EVAPoration Bias eXchange)工藝。這項專利技術允許蒸發器以最小的輸入能量進行高速蒸發,並在沈積膜中實現高均勻性。沈積速率的高均勻性允許更高的產品產量、更快的工藝時間和更高的性能。EBX-10C由真空密封不銹鋼主體和可靠的堅固真空設備組成。真空系統設有渦輪分子泵、真空計、真空調節器和油霧濾清器。該裝置允許穩定的汽化過程,減少汙染物的積聚。蒸發器配有高精度的質量流控制器和加熱器,可以在薄膜沈積過程中進行精確的溫度控制。質量流控制器可確保對熱量輸入和薄膜厚度的精確監控,從而實現產品的一致性。蒸發器還配備了熱電偶反饋機,用於監測沈積速率,以保持精確的基板溫度控制。ULVAC EBX-10C還配備了自動化可編程邏輯控制器(PLC),可自動控制蒸發器。PLC工具提供對加熱速率、真空參數和薄膜厚度的精確控制。這種精確的控制提供了均勻的沈積,避免了沈積過多或沈積不足,從而產生了更高的性能和質量控制。EBX-10C的蒸發資產是非接觸式的,可提供更好的沈積性能和更好的安全性.蒸發器的設計目的是將維護保持在最低限度,因為它沒有金屬與金屬的接觸點,不需要額外的清潔,從而便於維護和使用壽命長的性能。綜上所述,ULVAC EBX-10C是為高效薄膜沈積和表面處理而設計的先進的高性能蒸發器。蒸發器具有堅固的真空模型、高精度質量流控制器和動態熱電偶反饋設備,可實現精確的溫度控制和均勻的沈積。憑借其PLC系統,EBX-10C還能夠實現自動化控制,並提供卓越的可重復性,從而提高產品產量並更好地控制過程。
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