二手 ULVAC EBX-10D #162906 待售
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ID: 162906
晶圓大小: 4"
優質的: 1981
Resistance evaporator, 4"
2 planetaries, one 4" and one 3"
Electrodes are configured to handle up to 4 sources
Have used this to evaporate gold, silver, palladium etc.
Equipment is currently installed
Diffusion pump included
Spares are also included
1981 vintage.
ULVAC EBX-10D是一種用於低真空應用的蒸發器。它是一種用於蒸發層沈積控制、蒸發速度、粒徑和幾何排列的多功能工具。該蒸發器最大蒸發速率為10克/分鐘,工作面積為80mm長x 90mm寬。配有電阻熱加熱器、變溫控制器和沈積控制器。它有一種專利感應電場等離子體源,用於最小化顆粒增大和均勻蒸發速率分布。這種EBX-10D是控制蒸發速率的理想工具,特別是在需要各種蒸發速率的情況下。感應電場等離子體源產生的電子束使用最高80 x 90毫米的掃描範圍,以及0到5.5 kW範圍內可靠的交流電源。它還具有計時器函數和可變角度幾何布置,以更好的沈積控制。ULVAC EBX-10D還有一個先進的控制系統,可在過程開始時立即測量蒸發速率和粒徑。此功能有助於準確控制沈積,並有助於避免沈積過程中出現冷點。它還具有雙預熱模式,確保整個樣品的溫度分布均勻,有助於減少蒸發時間和成本。除蒸發速率和粒徑控制外,該蒸發器還具有快速的自動變速開關特性。此功能有助於減少汙染並實現快速真空循環。這有助於中和樣品表面存在的帶電顆粒。EBX-10D還有一個真空再生濾波器,它能夠快速疏散和穩定真空,並在更薄的薄膜應用中取得更好的效果。最後,ULVAC EBX-10D具有智能模式操作,可幫助最大程度地減少停機時間、確保不間斷運行並降低能耗。該蒸發器的用戶友好圖形界面提供了一個易於理解的界面來控制各種操作細節。該裝置還兼容各類配件如基板支架、蒸發源支架和氣體混合系統。這樣可以確保用戶的安全並提高工作效率。因此,EBX-10D是一種可靠、高效的低真空蒸發器。
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