二手 ULVAC EBX-16C #9111735 待售

ULVAC EBX-16C是一種用於薄膜沈積和半導體制造的高精度蒸發系統。該蒸發器在蒸發源、工藝控制參數、腔室尺寸等方面提供最大的靈活性，以滿足各種沈積應用的多樣化需求。蒸發器的加熱區裝有16 kW高頻快Etch™電弧槍，以提高加熱效率和均勻沈積速率。EBX-16C具有淺錐形的鐘形加熱區，有助於減少堵塞並確保薄膜均勻均勻。淺鐘形也使熱量損失最小化，即使在更微妙的沈積過程中也有助於保持蒸發溫度。一個單獨的噴射器也可用於沈積在小基板上。ULVAC EBX-16C通過低熱發射、二極管式溫度控制器進行溫度控制，提供精確、可調、可靠的溫度控制。該系統還配備了主動排放控制，提供了額外的安全性和穩定性。EBX-16C的自動化程度很高，可以方便和一致地使用。它帶有直觀的觸摸屏控制顯示屏，允許操作員訪問和更改所有相關的流程參數和設置。支持ULVAC EBX-16C的軟件還支持數據記錄和分析以及後處理功能。EBX-16C是為了滿足最苛刻的要求，在薄膜沈積精度和可重復性。蒸發器的可靠性能、優良的溫度均勻性、低熱發射，是半導體行業廣泛應用的理想選擇。使用先進的過程控制技術，包括軟件編程，為用戶提供了取得更精確成果的機會。