二手 ULVAC EGO-40M #9078387 待售

ULVAC EGO-40M是一種用於薄膜沈積的快速熱蒸發器.它專為需要高沈積速率的應用而設計，如光伏電池、生物組群研究和MEMS設備。EGO-40M具有高度精確的溫度和蒸氣壓力控制，以確保準確和可重現的結果。ULVAC EGO-40M利用高性能磁控管提供的高速沈積速率大於常規蒸發器的10倍。它使用一個六口袋多目標支架，一次最多容納六個不同的目標，允許快速和容易地改變目標，並允許多層沈積。EGO-40M擁有噴射冷卻專利技術,可防止目標過熱並提供更高的沈積速率。ULVAC EGO-40M還有一個內置電源和VLC控制器，使得蒸發器非常直觀和用戶友好。它對每個口袋都有獨立的溫度控制，可以控制蒸發溫度並允許精確的溫度控制。EGO-40M有一個集成的PC,它允許用戶創建自己的配方、收集數據以及提供與其他系統的數據通信。此外,ULVAC EGO-40M具有真空監視器,帶有泄漏檢測信號,指示系統在運行過程中是否失去真空或泄漏。它還具有在溫度超過設定值時關閉加熱器的過溫保護，以及有助於在操作過程中保持最佳腔室壓力的閉環真空泵。EGO-40M占地面積小,易於安裝和維護。ULVAC EGO-40M能夠蒸發多種材料，包括有機、金屬、電介質、III-V化合物和合金，使其成為薄膜沈積的通用工具。具備高精度的安全防護功能，完全符合UL和CE安全標準。EGO-40M具有高精度的溫度和蒸氣壓力控制、快速的沈積速率、多目標沈積能力，是薄膜沈積應用的理想蒸發器。