二手 ULVAC EX-200 #9078379 待售
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ULVAC EX-200蒸發設備是一種用途廣泛、成本效益高的工具,旨在蒸發各種材料,例如用於半導體加工的薄膜和基板。這臺蒸發器配有一個工藝室,提供一個加熱的墻壁,可以調整以適應汽化材料的加熱要求。它的腔室還提供低真空環境,以確保良好的蒸發性能和最小的顆粒汙染。EX-200系統配有自動冷卻劑轉移裝置(ACT),以提供高效維持最佳溫度的高容量冷卻劑流動。該機還具有可調節的泵送速度,以確保準確可靠的運行。ULVAC EX-200包括支持直接或間接蒸發的集成蒸發器。直接蒸發需要在加熱的基板上施加高額定的熱輻射材料。另一方面,間接蒸發是指利用間接引入基板的汽化材料進行更均勻的沈積。根據應用情況,直接或間接蒸發法均可用於取得有效效果。EX-200工具是為快速汽化而設計的,具有可調的功率設置,便於精確的過程控制。該資產支持使用磁性攪拌棒,這有助於均勻飽和腔室熱壁上的材料。該模型還具有可編程真空控制(PVC)功能,可自動控制腔室內的真空水平。此外,自動裝卸站(ALUS)便於將物料裝卸到蒸發器上/卸下。ULVAC EX-200蒸發設備可靠,操作方便.其優異的性能使其成為各種應用的理想選擇,如沈積、金屬化、材料分析、基板濺射塗層、膠帶鑄造、厚膜沈積、薄膜沈積、蝕刻、塗層等。其先進的技術和可靠的特性使其成為業界的理想選擇。
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