二手 ULVAC EX-550 #9230476 待售

ULVAC EX-550是一種廣泛用於半導體研發的幹蒸發設備。它是一種通用的實驗室工具，利用蒸發器技術在表面或基板上制造薄膜沈積物。其簡單的自動化設計，便於操作和精確的沈積控制。EX-550蒸發系統包含兩個獨立控制的蒸發源。一個常見的來源是安裝在電子束槍上的電阻加熱燈絲，用於蒸發金屬和金屬合金。第二個來源是高頻感應加熱器，用於蒸發有機材料。兩種來源都能蒸發0.1至1000納米的材料。該單元配備了一個裝有精密真空控制機的加工室，允許精確操縱腔室壓力。它連接到外部真空泵，如旋轉葉片或擴散泵。內置的溫度和壓力監控器允許操作員在不打開腔室的情況下調整腔室內部的條件。高分辨率運動控制器設計為在X和Y方向實現0.003毫米的數字精度，在Z方向實現0.01毫米的數字精度。它能夠極其精確和一致地沈積材料。控制器可以被編程為調整金屬和合金的不同配方的旋轉速度，以及有機材料的速度。ULVAC EX-550是制造高精度、高可靠性薄膜沈積物的理想工具。其自動化設計結合對材料配方、溫度、腔室壓力和運動的精確控制，使其成為小型研究和生產設施的理想蒸發器。憑借其令人印象深刻的性能，EX-550是各種行業的去到蒸發器。