二手 ULVAC LIS #9078392 待售

ULVAC LIS是由ULVAC, Inc.制造的蒸發器，一家專門從事真空技術的公司。它是一種低真空蒸發器，主要用於半導體和光電工業。蒸發器的設計提供了快速均勻的薄膜材料蒸發，具有令人印象深刻的精度和可重復性。LIS由陶瓷和不銹鋼材料組合而成，使其結構輕巧而耐用。它由一個霧化器單元、一個真空室和一個基板卡盤組成。霧化器單元包含一個射頻感應天線、氦氣和/或氮氣，以及一個可以控制蒸發速度和持續時間的快門系統。真空室由不銹鋼製成，內含陶瓷室襯裏。基板卡盤固定基板，可以調節以保證薄膜層的均勻蒸發。ULVAC LIS的真空水平為10-5torr，溫度範圍為0-500 °C。它是一種速效蒸發器，可以在幾秒鐘內蒸發多達1nm的材料，因此非常適合半導體行業的高容量需求。此外，它對射頻源的精確定位確保了整個基板的均勻蒸發。LIS易於操作,需要最少的維護。它配備了包含詳細操作和安全說明的車載計算機。此外,它還具有超壓保護和警報等安全功能。蒸發器還有一個模塊化的設計，可以方便地拆卸，以便快速維修或更換零件。ULVAC LIS提供一致的底物覆蓋，非常適合各種薄膜工藝，包括氧化膜沈積、電阻性膜沈積、沈積膜變薄和先進的晶圓集成。其蒸發均勻性使其成為集成電路生產等精密薄膜應用的理想選擇。此外，它的速度和溫度調節使得它成為需要快速和均勻蒸發的過程的理想蒸發器。