二手 VEECO 775 #165752 待售
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ID: 165752
Filament evaporator
24" x 30" High S/S Chamber
Automatic / manual valving
Digital ion / dual TC gauge
Diffusion pump
2 Stage direct drive roughing pump.
VEECO 775是一種蒸發器,主要用於真空厚膜加工機.該系統旨在促進沈積物的高效蒸發,並在生長過程中清除各種基質中的有害汙染物。這種高性能蒸發器允許精確的溫度控制,改進的過程控制和靈活性,更可靠的原料沈積。775由不銹鋼制成,耐用耐腐蝕,真空密封,最大操作壓力為800 Torr。它包括兩個石英雙溫區,每個區兩個耐熱加熱器,以及一個初級冷指紋,以提供整個基板表面的溫度均勻性。蒸發器具有雙深室,具有獨立的源負載和功率控制,以確保源材料沈積的均勻性。多級源鎖允許源負載而不會受到機械幹擾,而可更換的底板則確保蒸發室的熱均勻性。VEECO 775利用動態微平衡反饋控制系統監測沈積在基板上的重量,保持精確沈積速率。可作額外的蒸發調整,以增加或降低受影響地區的陶瓷沈積速率。它還擁有先進的過濾系統,保持晶體清潔沈積環境,消除殘留或汙染物,確保產品質量。這種蒸發器具有許多優點,包括更快的沈積速率、改進的工藝控制和靈活性以及優越的原料精確度。其堅固的設計確保了在任何工藝條件下的可靠運行,並使維護更長的設備壽命和最長的正常運行時間變得容易。775是需要高沈積速率和精確控制沈積過程的基材和材料的理想解決方案。對於可靠性和性能至關重要的高腐蝕性環境,它也是一個不錯的選擇。
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