二手 VEECO 775 #545 待售

VEECO 775
製造商
VEECO
模型
775
ID: 545
Evaporator, 18 x 20" pyrex bell jar.
VEECO 775蒸發器是一種高精度的汽相外延反應器,設計為提供最高質量的半導體生長過程和材料。這種蒸發器是一種能夠在精確控制溫度的情況下汽化的外殼.775使用3區爐進行溫度控制,可針對多個區和作業的溫度剖面定制。VEECO 775是化學氣相沈積(CVD)、原子層沈積(ALD)或其他氣相沈積過程等沈積步驟的理想選擇。它旨在在大批量生產環境中提供可重復、統一和一致的結果。775蒸發器采用先進的專有快門技術,為各種應用提供高吞吐量和均勻性。快門控制對每個蒸發卡帶都有單獨的控制,快門包括溫度補償溫度穩定性和可重復性。快門系統還提供了高水平的過程控制,允許對快門開合時間和動態熱模式切換進行精確控制。VEECO 775還具有高性能真空室,提供了高度的溫度穩定性和可重復性。它配備了一個自清潔耐腐蝕耐火窗,最大限度地減少停機時間,提高產量。這種蒸發器能夠實現超高真空過程步驟,從而能夠沈積復雜的原子層,這對於許多最先進的設備過程是必不可少的。775設計為高度自動化,具有內置的大容量晶圓載波,可用於大規模制造生產過程運行,並具有基於配方的全面控制,減少了人工操作並提供低成本操作。VEECO 775還提供實時監控,允許準確的過程校準和故障排除。它旨在與其他VEECO系統無縫配合使用,如白金900舒緩站。775是一款用途非常廣泛的蒸發器,為各類大批量制造應用程序提供了高度的精確度和可重復性,使其成為滿足客戶需求的理想選擇。
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