二手 VEECO Bell Jar #293648485 待售
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VEECO Bell Jar蒸發器是半導體器件制造中常用的一種精密高效蒸發系統。是一種可用於化學氣相沈積(CVD)工藝、薄膜沈積等相關應用的顆粒過濾裝置。蒸發器是由各種部件組成的封閉式系統,包括貝爾罐、工藝控制器、氣體入口和真空出口、晶圓托架以及閥門和壓力表。VEECO Bell Jar是VEECO Evaporator的關鍵部件,因為它的設計目的是提供一個密封環境,壓力低於大氣壓。它是以盡量減少化學和粒子汙染的方式建造的。貝爾罐有一個特殊的設計,以適應蒸發器的端口,以創建一個密封。過程控制器在整個蒸發過程中管理氣體的溫度、壓力和釋放。它與VEECO Bell Jar接口,提供了對化學氣相沈積循環參數的精確控制。氣體入口和真空出口提供了將化學前體和惰性氣體流入Bell Jar和疏散化學物質的手段。晶圓載體是一個封閉的平臺,用於放置薄膜沈積過程的基板。它還與工藝控制器一起精確測量和控制基板溫度,從而實現精確沈積。閥門和壓力表用於監測和調節VEECO貝爾罐中反應氣體的壓力、溫度和流量。閥門有助於調節和維持壓力水平,而壓力表提供精確的測量。利用這些組件,Bell Jar蒸發器能夠準確高效地蒸發材料,制造出精確的薄膜以及其他塗層。VEECO Bell Jar蒸發器提供了一個高效的薄膜沈積平臺,用於半導體器件制造及相關工藝。通過精確高效的設計,蒸發器提供了一個可以控制和調節的密封環境,以確保優質薄膜。
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