二手 ADTEC Anex-A2161 #9286116 待售

ADTEC Anex-A2161是一種先進的高端光學曝光設備,旨在支持高精度光刻應用。利用先進光學、精密力學和前沿電子設備的獨特組合,Anex-A2161為用戶提供了在掩碼對準和直接寫入操作方面的高度可靠、準確和可重復的成像性能。該系統擁有先進的光學器件，包括一個高精度的2.5倍放大裝置和一個健壯的激光束掃描（LBS）鏡面機。這種光學組合允許在10度視場內進行高分辨率成像。此外，設置還包括可調諧激光二極管（TLD）工具，該工具提供420納米至570納米的精密波長選擇，間隔10納米。TLD還可用於控制曝光水平，從而實現比傳統白光源更高的精度。該資產還具有精密的精確運動平臺，可精確移動和定位光學組件。這個運動平臺是建立在一個高質量的光學級極低的加速度和速度漂移。該級可以針對X-Y和Z運動進行編程，精確定位，可重復性為0.02微米。此外，還有一種獨特的傾斜調節機制，利用氣動級機構精確補償樣品地形誤差。該模型使用戶能夠使用其軟件界面對多個曝光過程進行編程。進程最多可以由16個單獨的曝光命令組成，這些命令可以使用簡單的基於形狀的指令執行。這使用戶能夠快速配置、存儲和召回不同的曝光策略,並輕松地將各種模式集成到單個作業中。ADTEC Anex-A2161結合了一整套功能和高水平的操作精密程度,為任何光刻應用提供了最佳效果。其先進的光學和運動系統相結合，使其成為各領域精密成像的理想工具，從納米技術和半導體制造到光學和光子學研究。憑借其精致可靠的設計,Anex-A2161是獲得可靠、可靠和可重復圖像的理想選擇。