二手 ADTEC Bex-250S-W #9384307 待售

ADTEC Bex-250S-W
製造商
ADTEC
模型
Bex-250S-W
ID: 9384307
Automated parallel exposure system.
ADTEC Bex-250S-W是一種全自動、高精度的曝光設備,設計用於集成電路生產中的精確模式傳輸。它能夠在直徑不超過8英寸的晶片上產生精細、高質量的圖案。該系統配備了250W激光源,能夠達到0.5至50mJ的曝光能級。激光光源具有廣泛的分光光度範圍,能夠穩定的性能和高精度。該單元還配備了高精度的光束取向機,允許光束與晶圓精確對準。Bex-250S-W能夠支持各種曝光格式,如直線、圓和線型。它還支持多級曝光和多級曝光模式。該工具還配備了廣泛的功能,旨在最大限度地減少開發時間和工作量,包括支持模式-邊緣平滑度優化、缺陷檢測、邊緣重叠校正和質量控制。除了激光源和光束定向資產外,該型號還配備了真空自動裝載機,在異物探測器、激光曝光、卸載室之間安全可靠地輸送晶片。這使設備能夠準確高效地按順序處理晶片。ADTEC Bex-250S-W的直觀用戶界面非常方便用戶。用戶可以輕松編程曝光參數、模式邊緣優化、序列優化等步驟。該系統還具有警報單元,警告用戶任何潛在問題,並允許用戶快速、輕松地進行調整或修改。Bex-250S-W非常適合用於生產單層和多層集成電路。高精度和高精度使其成為生產高質量集成電路的寶貴工具。
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