二手 AXCELIS / FUSION 150 #9384765 待售

AXCELIS/FUSION 150是FUSION Technologies Inc.開發的一款精密曝光設備，用於各種半導體制造工藝。該系統非常適合晶圓加工、光刻、化學外延和MEMS制造等應用。該設備提供高級功能,以滿足當今半導體制造行業的嚴格需求,提供卓越的性能和可靠性。FUSION 150是基於離軸、陣列場照明（PFIL）平臺。這個獨特的平臺能夠高精度地暴露非對稱特性。該機成像和照明分辨率分別為1.4和14 nm。它利用自動對齊工具和一系列圖像處理算法來確保精確和可重復的現場模式。資產還允許細粒接觸控制和調整。該模型與先進的計量學和先進的運動控制特性充分結合，保證了高吞吐量和精確的效果。它的高分辨率工具包允許精確的叠加和可重復性，而它的計量能力確保甚至晶圓曝光。它支持一系列可編程的字段大小配置,如全字段、象限和段,以實現精確的重復定位和曝光。AXCELIS 150具有很高的能源效率，包括一個高性能的能源管理設備與集成電源和冷卻單元。所有必要的電源和冷卻組件都集成到系統中,以實現最佳的能效和可靠性。該裝置符合全球安全和監管要求，是為可靠性和長期運行而設計的。它還構建了一個直觀的用戶界面，允許簡單和直觀的操作。此外,它還具有強大的機器配置,可以快速輕松地集成和執行刀具。150具有自動對準、集成現場模式、完整自動化、高能效等多種特點。它是高精度曝光工藝和經濟高效晶圓生產的理想選擇。其先進的特點和可靠的操作使其非常適合半導體的生產要求。