二手 AXCELIS / FUSION 150PC #84749 待售

AXCELIS/FUSION 150PC是一種最先進的高性能晶片和掩模曝光設備,旨在滿足先進光刻加工的嚴格要求。FUSION 150PC采用二合一架構設計，完全集成光學柱，具有兩個獨立的晶圓和掩模級。這種獨特的二合一體系結構使晶片和掩模能夠同時曝光,使其成為滿足先進光刻加工中增加吞吐量的嚴格要求的理想選擇。該系統采用強大的可編程激光驅動器和集成的掩模和晶片標線級，以確保標線和晶片的精確對準。該設備還配備了先進的光學封裝以及從光學顯微鏡到紫外線和SEM檢測系統的全套成像選項。AXCELIS 150 PC包含了一系列全面的處理工具和功能，包括光路校正、圖像增強以及完全可編程的自動對準和測量工具。內置校準和驗證套件可確保一致且可重復的結果。機器附有革命性的新控制程序，以提高準確性和吞吐量，允許用戶輕松快速地控制劑量、定時、聚焦和其他關鍵參數。FUSION 150 PC能夠達到傳統I-line工具1.5倍的最大分辨率，因此可以實現超細電路特性，同時降低成本。該資產還配備了先進的診斷工具，能夠進行無損激光功率測試，為暴露的每個標線和晶圓提供準確、可重現的測量。對於需要一致性的區域,該模型采用先進的重叠模式算法設計,該算法允許以最小的用戶努力和幹預來匹配晶圓到標線的曝光。AXCELIS 150PC是一款具有可靠設計的頂級設備,非常適合在高級光刻工藝中達到最高的吞吐量和準確性。它兼具創新特性和先進的控制系統，是任何半導體制造設施的絕佳選擇。