二手 AXCELIS / FUSION 150PC #9061421 待售

AXCELIS/FUSION 150PC Exposure Equipment是一個高度先進的自動化解決方案,用於處理網紋和其他基板。該系統能夠在單個曝光工具中提供光刻膠、層級、金屬、蝕刻、檢查和其他處理階段。它提供了無與倫比的吞吐量、可靠性、可重復性和過程控制級別。該單元基於模塊化的多區域設計概念。這使得機器可以根據用戶的具體需求進行改裝。它用途廣泛,既可以配置為低成本單點工具,也可以配置為功能齊全的雙點資產,每個基板層都有多次曝光。該模型允許在批處理模式和串聯模式下進行操作,從而允許用戶優化其吞吐量和流程變化。設備配備了包括高強度紫外線源、所有透鏡和光學元件以及圖像增強器在內的所有必要組件。該系統旨在提供高度的過程控制和可重復性。綜合曝光控制單元（Integrated Exposure Control Unit，IECS）在機器軟件內創建一個虛擬層，可以為每個配方存儲和調整參數。這允許用戶精確控制和優化每個層的過程參數。該機還配備了最先進的光刻套件。該軟件旨在管理和自動化光刻工藝，從設計的準備和編輯一直到曝光參數的微調。軟件還包括一套監控和分析工具，允許用戶實時監控流程條件和分析結果。該工具還提供了一組高級顯微鏡功能。它可以與直播攝像機集成，用於捕捉高分辨率圖像或3D模型。它還可以配置一系列放大倍數，以便於檢查和分析平版印刷特征。最後,該資產旨在提供卓越的自動化性能。自動化的舞臺穿越能力允許同時快速處理多個基板。此外，該模型直觀的用戶界面和健壯的機器人技術允許易於操作員控制，使設備操作更快、更容易。總體而言,FUSION 150PC Exposure System是一個高度復雜、多方面的解決方案,可提供最高的準確性和可靠性,用於處理標線和其他基板。該設備旨在提供最大性能、可擴展性、自動化和過程控制。它具有高度適應性和靈活的體系結構，是任何光刻工藝的理想解決方案。