二手 AXCELIS / FUSION 150PC #9302854 待售

AXCELIS/FUSION 150PC是一種用於半導體器件制造的光刻工藝的曝光設備。它由FUSION Technologies設計,FUSION Technologies是先進工藝技術解決方案領域的領導者。該系統采用可變光束（VSB）模式發生器，產生聚焦、精確的高能紫外線輻射斑點，將所需的模式暴露在光掩模上。該單元由於具有高分辨率、大視野和多層空中成像能力，具有較高的生產率。FUSION 150PC具有高達150瓦的源功率,並提供用於控制光束大小和形狀的優化投影光學器件。它由VSB模式發生器、成像透鏡和相關電源組成。成像鏡頭采用多級遠心率設計，可實現最大成像精度。可伸縮、自對準的對焦機使用七元伽利略光學工具和自動對焦控制，實現亞微米級的可重復性。其高精度光束定位資產使VSB圖樣發生器和成像透鏡能夠穩定、高速對準，確保無瑕疵。AXCELIS 150 PC具有0.7µm的高分辨率，能夠產生動態範圍廣泛的優越影像。其廣闊的視野為各種掩模尺寸和不同的電路模式提供了卓越的成像能力。該模型還支持多層空中成像，實現了復雜3D結構的高通量制造。它的自動模式識別使得模式識別過程具有很高的準確性。該設備采用高精度對準系統設計，能夠以5um的精度控制和檢測掩模臺的位置精度。該機組還具有停電、安全互鎖等先進的安全功能。此外,它的光學元件與自動校準集成在一起,從而減少了手動調整的次數。總體而言，FUSION 150 PC是為光刻工藝設計的優越的紫外線曝光機。由於其精密的光束成形工具、寬廣的視野和多層空中成像能力，它具有最高的分辨率和高通量。AXCELIS 150PC作為一種先進的光刻機，是半導體器件制造的理想選擇。