二手 AXCELIS / FUSION 200 ACU #9083197 待售

AXCELIS/FUSION 200 ACU是為生產光掩模而設計的自動化曝光設備。該系統提供靈活性、成本效益和高性能,以實現可靠的性能和長期使用。該單元采用超高速緊湊型步進電機,可提供精確一致的結果。它的高速有利於更快的幹燥時間和提高暴露的準確性。它的高分辨率光學元件和可變縫隙尺寸使它能夠處理各種不同的光掩模類型。由於它的閉環機器和可調節的速度，它也能夠精確的模式定位和對準。它的多區結構使各種基板尺寸的可靠曝光具有高分辨率甚至每個區的曝光。FUSION 200 ACU先進的快門工具提供精確的曝光時間控制，而其濾波器組件則確保光能的精確調制高達340W/cm ²。它還具有先進的安全和維護功能，包括用於改進散熱的低真空資產和用於操作設備時增加安全性的激光聯鎖安全模型。該系統還具有符合人體工程學的設計,以方便用戶,並具有用於設備安全的自鎖手柄。其高沖擊力外殼可確保設備無振動,並且與潔凈室兼容的設計可最大程度地減少顆粒汙染。此外，其光學攝像機監視機和AIoT監視工具提供對數據、設置和流程的持續監控，並向用戶發出資產中任何異常或故障的警報。總體而言,AXCELIS 200ACU是一種可靠、經濟高效且高性能的曝光模型,適合許多光掩模生產需求。其先進的功能和設計提供精確和一致的結果,並確保它能夠安全、安全地運行多年的可靠性能。