二手 AXCELIS / FUSION 200 ACU #9191126 待售

AXCELIS/FUSION 200 ACU是一款先進的自動曝光設備，設計用於提供對單基板、多基板和高度復雜基板的精確、可重復的光刻控制。ACU專為要求最苛刻的光刻應用而設計，可以應用、控制和監控各種基板和特性的暴露，包括多種基板，具有高度的可重復性。該系統提供了簡化的用戶體驗和強大的功能,可優化平版印刷過程。ACU優化的光學和機械設計允許使用易於維護且經濟實惠的長壽命、減少燃燒的照明。高效的石英鹵素燈在高照度和低照度下都能提供可重現的曝光，而可調節的晶片級則可以讓設備在曝光時快速更換基板和照明。此外，先進的，可調快門控制允許精確快門操作和定位以及優越的快門校準。ACU由一個主機和控制單元以及一個曝光頭組成。大型機由數字顯示器和控件組成,包括用於快門控制和光圈設置的撥號設置。控制單元由一個頭控制器、晶圓數字讀數和電機控制技術組成。大型機運行高級軟件和高級硬件改進,並且能夠存儲多達8個曝光程序。通過直觀的用戶界面,ACU可以輕松集成到各種各樣的環境設計中。一套廣泛的鏡頭、棱鏡和鏡子可用於定制快門、投影光學器件和曝光頭以滿足光刻要求。此外,一臺自動化的集成實時診斷機器允許進行性能監控和調整,這有助於防止停機,並最大限度地降低與安裝、重新校準和重新校準相關的成本。ACU為用戶提供清潔、低維護的設計和各種環境控制,如溫度-濕度控制、電磁幹擾（EMI）屏蔽和通風外殼。該工具還符合FDA批準的半導體和光刻工業安全措施。總之，FUSION 200 ACU是一種先進、功能齊全的資產，旨在為復雜基板提供精確、可重復的光刻控制。它具有清潔、低維護的設計、自動診斷以及廣泛的光學和機械功能。ACU具有先進的功能和用戶友好的界面,非常適合要求更高精度和可重復性的應用程序。