二手 AXCELIS / FUSION 200 ACU #9225547 待售

AXCELIS/FUSION 200 ACU是一款先進的曝光設備，配有精密光學器件以及實現高分辨率結果的多種選項。它是為商業和工業應用而設計的。FUSION 200 ACU使用自動聚焦系統對晶圓表面進行精確控制和成像。它具有變速、高精度的控制單元，允許對曝光參數進行微調控制。曝光機采用空氣軸承結構，在各個方向提供穩定、精確的運動。AXCELIS 200ACU配備了可變孔徑膜片和準直器孔徑，共同提供晶圓表面上高質量的光束均勻性和曝光均勻性。刀具還具有可調柱定位和角度，以及三個可調軸（X、Y和Z）。資產具有控制曝光和曝光參數的自動化處理器。這樣可以方便編程和快速暴露晶圓。自動曝光模型還包括曝光概況記錄和曝光數據存儲,允許在多次曝光運行中獲得高質量的結果和曝光參數的可重復性。200ACU還配備了難以曝光的口罩和其他特殊應用的特殊選項。該設備能夠接觸、接近和幹燥接觸，使其適合各種晶圓制造工藝。AXCELIS 200 ACU非常精確，在曝光場的所有區域都具有高度一致的曝光均勻性。它既緊湊又易於設置，其自動化功能使其能夠快速有效地為各種應用做好準備。自動化的功能和簡單的編程還允許最小化曝光時間和最大化曝光精度。200 ACU是一個先進的曝光系統，提供高分辨率的結果，精確的控制，以及針對不同應用的廣泛選項。它的自動化功能和易於編程使其成為各種晶圓制造工藝的理想選擇。