二手 AXCELIS / FUSION 200 ACU #9225549 待售

AXCELIS/FUSION 200 ACU設備是一種功能齊全的高級曝光系統,在半導體光刻技術中具有高吞吐量、高性價比和無與倫比的分辨率。該單元結合了經過驗證的高級光刻技術和工藝自動化功能,為制造商提供了所需的成本節約,以及實現高級工藝節點的更大實用性。該機提供了先進的覆蓋精度和配準均勻性，這要歸功於其精確校準的對準階段和集成的配準標記檢測系統。其TwinScan Twinscan 5 x ST微步進晶片級還允許擴展視場和對直徑達200 mm的大型晶片進行過度處理。ACU的On-Axis I-line Lighting lighlinator提供增強的過程均勻性和標線均勻性,以優化項目。其固態照明工具增強了產品性能和光刻工藝控制。此外,它的可變預脈沖功能允許更集中地平衡摻雜密度,並更好地控制更高級的流程節點的線寬和空間寬度。該資產還提供了廣泛的可選硬件組件，包括電動聚焦單元、距離測量模型、液體光刻膠高度測量設備和直接激光幹涉測量系統。這些外圍解決方案的可擴展性為光刻師提供了滿足其需求所需的靈活性。為了提高質量和可靠性,FUSION 200 ACU具有所有必要的功能,包括多噴射器功能、現場過程控制、集成過程配方、與工廠自動化系統的集成以及對擴展或多種模式的支持。它還有一個先進的晶圓便利化裝置和一個集成真空處理機，允許用戶以最短的設置時間快速移動和交換加工過的晶圓。AXCELIS 200ACU工具是一種通用的解決方案,與市場上的其他解決方案相比,它具有許多優勢。它非常適合在新的和現有的生產線中集成,其體系結構促進了產品的快速轉換,並帶來了節省成本的好處。該資產也非常可靠,提供出色的結果,以及一致的生產過程控制。