二手 AXCELIS / FUSION 200 ACU #9235767 待售

AXCELIS/FUSION 200 ACU是一種綜合性晶圓級曝光設備，旨在為包括半導體、MEMS、光電子和高級封裝應用在內的一系列先進設備應用實現可重復、準確的結果。該系統有一個專用的照明器單元，包括一個大功率氙燈，一個先進的像差校正，和一個內部自動場校正機。這項技術提供了高強度和均勻的光照模式,從而縮短了曝光時間並提高了設備產量。此外，最先進的校正工具最大限度地減少了曝光模式的像差和失真，進一步提高了結果的一致性和準確性。通過這種組合,FUSION 200 ACU上的曝光能夠在完全集成的過程控制級別下實現1.0 µm或更小的雙圖樣和叠加精度。此曝光資產還具有一系列集成的子組件和流程功能。其中包括一個獨立的2級映射模塊、一個高精度的亞微米步進器和一個激光直接成像（LDI）模塊。利用這些集成組件,AXCELIS 200ACU能夠以單一的模塊化解決方案支持各種高級流程,如極紫外線（EUV）、深紫外線（DUV）和高級封裝應用程序。此外,FUSION 200ACU通過其可配置的體系結構提供了高度的靈活性。這種模塊化設計允許重新配置每個組件以支持各種實驗和用戶的需求。此外，其集成的網絡和控制模式使設備能夠遠程訪問和操作，從而便於與現有的實驗室或工廠車間環境相結合。為了保持最佳環境,200 ACU配備了先進的傳輸系統和氣體箱,以確保晶片在整個暴露過程中保持在安全和清潔的環境中。此外，它的自平整動態真空卡盤提供了免維護操作，並能夠在較小的基板上更高的分辨率模式。總之，AXCELIS 200 ACU是研發應用的理想曝光解決方案。其集成的組件單元、靈活的體系結構和強大的自動化功能可確保為一系列高級設備應用程序提供可重復和準確的結果。