二手 AXCELIS / FUSION 200 ACU #9399207 待售
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AXCELIS/FUSION 200 ACU是一種自動曝光設備，設計用於將有圖樣的矽片暴露在紫外線下。該系統利用激光腹瀉陣列、模式識別光學器件、位置傳感器和計算機控制的運動系統等先進技術，將晶片精確地暴露在多種應用中。FUSION 200 ACU具有高效率的激光二極管陣列，能夠以高達1000瓦的功率發射紫外線，從而產生比傳統曝光系統更高的吞吐量。激光二極管陣列基於先進的光學技術，是自校準的，允許在單個晶片內具有更高的精度和重復的曝光模式。此單元還可以凹入多邊形、圓、橢圓、矩形和六邊形,以及周期性和非周期性模式或網格。AXCELIS的自動模式識別和精密光學200ACU允許在晶片上進行曝光區質量（EZQ）分析,能夠在單個通道中精確識別和精確曝光圖樣晶片,該機器還采用內置端點檢測方法來精確檢測晶片何時完全曝光。此外，200ACU采用先進的運動系統，用於在激光二極管陣列下和曝光運行之間精確移動晶片，通過位置傳感器精確驗證晶片上圖樣的位置。這樣可以確保陣列被精確暴露,而不管陣列大小、方向或復雜性如何。這種自動化和精確的曝光工具能夠容納各種晶片,包括3英寸、5英寸、8英寸和12英寸晶片,並且用戶友好,為用戶提供了靈活的方式來微調資產以滿足其特定的工藝需求。200 ACU具有堅固可靠的設計,是任何涉及陣列矽片的生產工藝的絕佳選擇。
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