二手 AXCELIS / FUSION 200 PC #9157616 待售

AXCELIS/FUSION 200 PC是為先進半導體工藝而設計的先進曝光設備。該系統以更大的工作區、更高的分辨率和卓越的曝光控制形式提供卓越的性能。它能夠通過先進的快門控制和對準精度來曝光200毫米尺寸的基板。該裝置采用高分辨率成像光學器件，在基板上具有優異的圖樣處理能力。它可以處理各種需要精確曝光的基材，包括高達200毫米的光阻、玻璃或其他高度透明的材料。機器獨特的自動對焦算法允許自動、即時調整對焦和分辨率,以確保曝光的晶片具有最佳、可重復的特征。為確保最佳性能和效率而設計的若幹先進功能進一步增強了該工具。該資產具有強大的晶片處理模型，該模型具有自動晶片對準和調整功能，可將晶片精確定位在曝光室內。它還有一個集成的閉環快門設備，確保一致的曝光開合以及精確的快門控制。此外,獨特的模模陣列放置系統可確保晶片上多個模具陣列之間的精確對齊。該裝置還具有8秒的最大紫外線暴露時間。這樣可以提高吞吐量和生產率,同時減少與過度曝光相關的缺陷。它還具有用戶友好的離子泵，自動優化泵速，優化紫外線分布。曝光機用集成的保護玻璃進一步保護，確保安全和一致的操作。FUSION 200 PC還提供了激光對準功能等高級功能,以便可以即時完成對準任務,如模具對準和曝光前的等離子體清洗。此外，該工具還得到用於過程控制的尖端軟件的支持，包括E-beam或Stepper曝光控制軟件，以及數字I/O控制軟件。最後,為了進一步提高可靠性和安全性,資產包括硬件和軟件級別的安全監控以及專用的安全開關和硬件鎖。這確保了模型按照國際安全標準運行。因此AXCELIS 200 PC是先進光刻和封裝工藝的理想設備。