二手 AXCELIS / FUSION 200 PC #9205015 待售

AXCELIS/FUSION 200 PC Exposure Equipment是一種高精度、先進的光刻系統,旨在生產具有亞微米特性的設備。它具有廣泛的可為特定應用量身定制的曝光光學元件。FUSION 200 PC單元采用了先進的成像技術和先進的順序照明，實現了極其精確的圖樣化結果。AXCELIS 200 PC機器包括曝光頭、步進電機和PECVD工具以及其他組件。曝光頭包含高速數碼相機，可以快速準確地捕捉圖樣圖像。系統的輻射源可以是氙燈或激光。然後，從照相機獲得的數據被轉移到PECVD資產中，用於生成所需的制作模式。與200 PC型號關聯的SXA 200多邊形掃描儀提供高分辨率成像功能。掃描速度和分辨率可以輕松調整,以適應各種設備要求。曝光組件上的VCU和Emitters也減少了與曝光過程相關的噪音。再者，機動化平臺使用戶在曝光過程中能夠精確調整基板的位置。AXCELIS/FUSION 200 PC設備還配備了平板顯示屏,可輕松導航系統的菜單和控件。顯示屏允許用戶監控曝光過程，如曝光時間和曝光能量，並對設備進行調節以符合特定的應用要求。此外,診斷機器從FUSION 200 PC捕獲關鍵數據和參數,這些數據和參數可用於刀具故障排除和優化。AXCELIS 200 PC的電腦介面可以讓使用者快速檢視及調整曝光及處理參數，也可以方便連接網路或網路。這使得200 PC成為遠程管理曝光資產和最大限度提高生產效率的有效工具。