二手 AXCELIS / FUSION 200 PC #9250798 待售

AXCELIS/FUSION 200 PC是一種自動化光刻曝光設備,旨在提供可靠的半導體制造能力和靈活的設置和操作。該系統采用雙室設計，在一個單元內有兩個獨立的過程室，一個用於開發抗蝕劑，一個用於暴露和制作抗蝕劑。這一特性使得光刻膠和基板加工的高通量，而不犧牲過程的均勻性和準確性。雙室設計還具有通過防止化學汙染物或其他汙染物從一個室轉移到另一個室來降低交叉汙染風險的額外好處。FUSION 200 PC能夠執行各種過程步驟,包括spincoat、烘烤、對齊、曝光、曝光後烘烤、顯影和沖洗。該裝置還采用先進的自動對準技術，利用光學裝置在基板上定位和繪制圖樣。這項技術提高了分辨率和準確性,同時大大縮短了用戶輸入時間。此外,AXCELIS 200 PC還具有計算機化的晶圓處理功能,允許在機器的基板處理階段進行精確的基板傳輸和精確的定位,並減少傳輸時間。200 PC有一個可重復成像室相機工具，以及一個內置的查看端口，方便基板對齊和關鍵圖樣。該資產采用模塊化結構和符合人體工程學的設計，以改善用戶的訪問和移動性，同時提高維護的易用性。AXCELIS/FUSION 200 PC具有用戶友好的板載過程控制模型（OPCS）,可實現設備過程控制的無縫集成和完全集成。OPCS旨在監控流程參數,最大限度地減少用戶在系統運行過程中的幹預。FUSION 200 PC能夠運行小型部件,從而提高了整體設備的正常運行時間。該機器還提供了單個晶片的可重復性和高吞吐量。此外,它的自動化基板處理技術減少了手動設置時間,同時優化了刀具產量.該資產非常適合原型和小型生產應用。