二手 AXCELIS / FUSION 200 PC #9383814 待售
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AXCELIS/FUSION 200 PC曝光設備是一個可靠且高性能的平臺,旨在適應各種光掩模曝光和晶圓陣列制作過程。該系統提供高級功能,可降低擁有成本並最大限度地提高吞吐量,非常適合各種掩碼和晶圓應用。這種曝光裝置配備了先進的真空機,具有高抽水速度和低而一致的背景壓力。該工具還提供了一個自動晶片盒式裝載機和一個幹凈的機械臂,可以有效地幹洗口罩和晶片。一個獨特的特征是對焦距離(DTF),它允許用戶在曝光過程中快速改變掩模和晶圓之間的距離。這項資產配備了四個階梯級的曝光,單至多掩模曝光和可調節快門速度。FUSION 200 PC還配備了集成的高性能圖像處理軟件,可提供高級曝光前和曝光後功能。此模型還提供集成的掩碼驗證和對齊系統,可快速準確地放置陣列。集成真空傳輸(VACTRANS)設備和自動晶圓處理系統有助於最小化曝光時間。此外,該系統還提供符合人體工程學的安全功能和圖像監控系統,以確保準確性和安全性。總體而言,AXCELIS 200 PC曝光單元是一臺可靠且高性能的機器,非常適合管理涉及光掩模曝光和晶片圖樣制作過程的各種掩模和晶片應用。它配備了先進的真空工具、自動晶片盒式裝載機和清潔機械臂等功能。此外,集成的圖像處理軟件和其他集成的安全功能,以及掩碼驗證和對齊系統,能夠快速準確地放置圖樣並提高生產率。
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