二手 AXCELIS / FUSION 200 PCU Polo #9196916 待售

AXCELIS/FUSION 200 PCU Polo是一款先進的曝光設備，旨在為苛刻的光掩模生產提供精確且可重復的曝光。此平臺非常適合5 X和6 X曝光應用。Polo是一個自動化的軌道系統，具有高分辨率的計量和基板處理，導致優於產量的性能。該設備采用了獲得專利的最先進的質量流量控制（MFC）無水分幹燥空氣技術,為臨界重復暴露應用提供精確和可重復的劑量。MFC技術能夠將暴露劑量重現到0.8%以內。機器具有先進的基板處理,包括自動加載、放置和方向控制.該工具還包括自動背面對齊和金屬對齊監控。平臺可加工尺寸達200毫米的基板，可處理厚度達1.5毫米的基板。先進的光機資產提供卓越的光學性能。光學模型采用高性能衍射校正曝光透鏡，結合自動對準設備。先進的曝光系統設計為提供高達4µm的最佳同級曝光均勻性，加上0.1µm/mm的低線性失真。FUSION 200PCU POLO采用用戶友好的圖形用戶界面（GUI）設計,實現了曝光參數的快速設置和精確可重復性。該設備具有操作人員友好的控制功能,具有廣泛的過程和基板數據收集功能。此數據用於確保精確和可重復的曝光。AXCELIS 200 PCU/POLO是一款先進的曝光機，為苛刻的光掩模生產提供精確且可重復的曝光。憑借其行之有效的光學性能、MFC控制工具和自動基板處理，該資產可提供優越的產量和精確的可重復劑量。該模型用戶友好的GUI確保了易於設置和精確的過程控制。