二手 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9016214 待售

AXCELIS/FUSION 200 PCU設備是一個強大的曝光系統，提供尖端的光刻工藝和功能。它提供了廣泛的功能,允許用戶以各種不同的格式精確地對各種基板進行陣列。FUSION 200 PCU曝光單元使用深紫外（DUV）曝光源運行，配有先進的Target Renovation Retarder（TRR）和前沿光學器件。堅固的空氣承載機有助於確保準確和可重復的運動，從而實現精確的覆蓋和圖案放置。此外，AXCELIS 200PCU包括一個最先進的低應力晶片改造工具和一個現場光學監測資產，允許近乎實時的數據監測。這樣可以縮短曝光時間,提高產量和提高產量。FUSION 200PCU具有執行各種圖像統一操作的能力，如蝕刻和可變形狀曝光，從而產生出色的產量並提高特征精度。此外,該模型還提供了業界領先的叠加精度,允許在一個任務步驟中對多個曝光網格進行陣列化。隨附的自動對齊工具與各種圖像格式兼容,使設置和執行比以往任何時候都更容易。在抗蝕劑處理能力方面，AXCELIS/FUSION 200PCU支持中高蝕刻選擇性，使用戶能夠將音高暴露在大約0.6微米。該設備還包括高級抗蝕劑評價功能，可準確表征光敏性能。AXCELIS 200 PCU系統與大多數流行的CAD程序和流程平臺兼容,使其易於集成到現有的設置中,並為用戶提供更高的生產率和操作靈活性。此外，該裝置還可以安裝各種配件，如傳感器和光學器件，以便根據需要進一步定制。總體而言,200 PCU是一款功能強大且高效的曝光機器,具有多種功能和功能,使用戶能夠獲得卓越的產量和提高的功能準確性。適用於多種基材和層型，使其成為一系列應用的絕佳光刻溶液。