二手 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9038084 待售
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AXCELIS/FUSION 200 PCU（工藝控制單元）是一種高度先進、完全可編程、低能量的曝光設備，專門為制造先進半導體和其他電子元件而設計。它采用了最先進的過程建模、控制、優化和驗證技術,可提供最大程度的過程控制和一致、可重復的結果。FUSION 200 PCU采用多級工藝體系結構,包括光刻膠建模、過程控制、機器控制和性能驗證。這允許最大限度地控制流程變量和系統性能,從而允許最高級別的流程控制和可重復性。它采用符合人體工程學的工作站設計,可輕松訪問所有主要單元組件,包括大型機處理器、大型平板顯示器和輸入/輸出外圍設備。顯示面板方便用戶使用,並提供有關流程參數和數據的實時信息。AXCELIS 200PCU獨特的過程控制技術使得廣泛的過程參數能夠得到精確的控制和優化，如輻射功率、劑量率、光束剖面圖和分辨率。這樣就產生了清晰的成像、可重復的結果以及定制所需設計輸出的能力。性能驗證技術通過對機器性能和過程配方進行監控,同時通過實時分析提供即時反饋,提供高級質量保證。這對於細線、亞微米器件制造的驗證尤其有益。AXCELIS/FUSION 200PCU還具有一個綜合的光掩碼庫配方庫,它簡化了曝光的管理和優化,以及一個綜合的過程配方庫,能夠實現多個過程的自動化。200PCU功能全面，是制造先進半導體和其他電子元件的理想解決方案。
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